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半自動臺階儀

【產(chǎn)品概述】澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表,憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能,在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號,結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).

  • 產(chǎn)品型號:JS100B
  • 更新時間:2025-02-18
  • 訪  問  量:5008
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

產(chǎn)品詳情

澤攸科技臺階儀JS100B

產(chǎn)品介紹

半自動臺階儀

澤攸科技半自動臺階儀JS100B是高精度測量設(shè)備,打破了國外技術(shù)壟斷,適用于半導(dǎo)體制造中的國產(chǎn)化進程。該設(shè)備采用一體花崗巖結(jié)構(gòu),確保測量的穩(wěn)定性與可靠性。配備兩個彩色攝像頭,可無畸變地觀察樣品和針尖,實現(xiàn)特征區(qū)域精確定位。JS100B具備厚度、粗糙度、翹曲度及薄膜應(yīng)力測量功能,并支持3D掃描成像和多點掃描應(yīng)用,廣泛應(yīng)用于刻蝕、沉積、薄膜等領(lǐng)域。


 

  • 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

  • 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

  • 各式薄膜應(yīng)力測量

  • 3D掃描成像

  • 計劃任務(wù)和多點掃描




應(yīng)用領(lǐng)域

半自動臺階儀




產(chǎn)品組成

半自動臺階儀





突破三大核心技術(shù)

半自動臺階儀



產(chǎn)品特色

半自動臺階儀


關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)

半自動臺階儀

案例應(yīng)用

18nm樣品

68um樣品



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